使用 臺設備應對多種氣體相當于實現了工藝靈活性和生產效率 大化。采用布魯克斯儀器獨有 MultiFlo™ 技術的 GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準確性的同時重新設定測量范圍的系統、工藝和設施。該產品與前所未有的流量測量和控制性能相結合,能夠將工藝靈活性提升至新高度。
特點
可編程多氣體/多量程功能
Brooks® MultiFlo™ 氣體數據庫包含數千種天然氣體測定結果,可用于建立修正函數
流量響應時間不足 1 秒,精度可達目標應用設定值的 1%
非常適用于各種氣體
快速響應,哈氏合金傳感器
擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務端口
多協議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口