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Brooks Instrument 的蒸汽輸送模塊 (VDM) 是用于高精度輸送超高純度去離子水蒸汽的高性能、自足式模塊。它的特點是節能設計，能在低溫環境下產生超高純蒸汽。該模塊采用了成熟的蒸汽輸送技術，并結合了 進的數字控制和集成診斷功能，集成在 個小巧，方便的外殼中。
VDM 專為 進的剝離和金屬刻蝕后段鈍化工藝設計。相比閃蒸系統，它能提高精度，使流速更快，控制范圍更廣，功耗更小。基于成熟的熱式質量流量測量技術，VDM 能在非過熱蒸汽階段產生蒸氣，從而降低去離子水的侵蝕效果，提高了可靠性，改良了清潔操作。
它還通過 個獨立的服務端口和直觀的圖形用戶界面，提供人性化的數據記錄和診斷功能。
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