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型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依賴型工藝的效率和性能 大化：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設備同時擁有各種業內 的功能技術，可提升測量可靠性、 大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應 小化。
進的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風險。此外，還有快速響應傳感器可供選擇，用于提供高 閉環控制性能。
結果：超精確、可重復并且**的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進行抽真空時都能夠準確使其達到工藝所需的目標 Torr 值以實現潔凈、無污染生產。
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