- 長期零點穩定性,每年變動小于滿量程的 0.2%
- 能夠根據命令變化迅速進行流量響應并且過沖/下沖可忽略不計
- 流量范圍寬 - 從3 sccm 直到1000 slpm
- 耐高壓等 - 高達 1,500 psi
- 可拆卸式流量傳感器
- 不受安裝角度影響
- 能和其他質量流量控制器在機械和電氣設計方面兼容
- 電驅動閥超調
- 耐化學腐蝕閥門
優勢
- 在廣泛的工藝和應用范圍內擁有經認可的長期穩定性和準確性
- 由于性能可靠,因此投資回報率出眾
- 采用可拆卸式流量傳感器,因此無需對氣壓進行連續監測和重新調節
- 由于模擬量僅為輸入/輸出,因此易于安裝和保養
應用
- 化學品和石化催化劑研究和試驗工藝
- 實驗室和分析系統
- 生命科學實驗室
- 太陽能