901 Plus(901P)負載鎖定傳感器(LLT)專為負載鎖定環境而設計,結合了Piezo和Micro Pirani™真空傳感器技術。與傳統的導熱系數相比,這種組合輸出可提供更高的精度,穩定性,可重復性和更快的響應時間。
對壓力測量范圍為1,000至10 -5 Torr
單個傳感器具有3傳感器功能,適用于寬測量范圍
模擬,RS232,RS485和EtherCAT®版本
可選的集成觸摸屏顯示器,可用于本地壓力指示
快速,準確和可重復的壓力測量可縮短工藝周期
三個可選設定點,響應時間快,可靠的過程控制