多氣體,多范圍,彈性體密封,50 - 50,000 sccm質量流量控制器
G系列GE50A數字控制質量流量控制器可提供RS485,Profibus,EtherCAT或DeviceNetI / O. 數字控制電子設備利用 新的MKS控制算法,在整個設備控制范圍內對設定點進行快速,可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準在校準氣體上產生1%的設定點精度。
流速從5到50,000 sccm
Viton,Buna,氯丁橡膠或Kalrez的密封和閥塞選項
建立時間小于750毫秒
標準封閉電導泄漏率小于滿量程的0.1%