晶圓清洗和漂洗(濕臺系統)
流動閃點溶劑和酸的加熱
與單程或再循環系統*起使用
與 PFA 管式加熱器的用途相似,但溫度限制更高
涉及爆炸性蒸氣的過程
精確溫度控制至關重要的情況
特點與優勢:
流路與加熱元件無接觸
允許安全加熱低閃點溶劑
加熱介質隔離在無縫 316 不銹鋼管中
溶劑管經過鈍化和電拋光以確保純度
自排放流量管消除了殘留的碎屑
冷卻管快速將熱量降低到閃點以下
NEMA 7 防爆電氣外殼
配備堅固的傳感器和開關陣列