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在等離子體增強過程中，表面反應的發生、性質和反應速率在很大程度上取決于入射粒子的動能。與輻射和反應焓等其他貢獻 起，它是總能量流入的 部分，對等離子體處理的基底的表面性能至關重要。
ZIROX、NEOPLAS和萊布尼茨等離子體科學與技術研究所開發了 種新型探針，用于在表面處理過程中原位測量表面的真實能量流入。由此，可以對能量通量的大小和方向進行表征，并與材料的性質進行關聯。
由于其對工藝參數變化的高靈敏度和相對較低的成本，主動熱探針非常適合于工業或研究中等離子過程的有效質量控制和在線監測。
主動熱探頭適用于真空應用和溫度高達450°C，能量通量高達2+/- 0.001 W/cm2。可變的探測總長度允許任何自定義版本。
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