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ERS MDM300系統是 種用于半自動分離晶圓與載體（熱拆鍵合）的FOWLP技術。該機器通過釋放熱量將載體剝離。該系統可供，以保證熱拆鍵合后的晶圓質量。
它提供半自動PLC控制，而且 多可存儲100多種配方。該機器具有較高的可重復操作性： 可以使用預設參數進行自動熱拆鍵合，然后手動脫膠， 后進入全自動翹曲矯正程序。
MDM300具有兩種操作模式：熱拆鍵合和翹曲調整以及獨立的翹曲矯正功能。
另外，我們還提供 些特殊的技術支持，例如在重新分布后，對易氧化的晶圓采用的無氧三溫滑動專利技術。
該工具專為研發實驗室和新技術試產期間的試生產線設計的。
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